Dans l'équation de Preston exprimant la vitesse de polissage en CMP, quelle grandeur est considérée comme proportionnelle à la vitesse de polissage ?

Réponse : C. Le produit de la pression de polissage et de la vitesse relative entre tampon et plaquette

L'équation de Preston est la relation empirique « vitesse de polissage = k × pression × vitesse relative », établie en 1927 pour le polissage du verre. Doubler la pression ou la vitesse de rotation double à peu près la vitesse de polissage ; c'est la base de la définition des conditions de polissage. Le coefficient k dépend de la suspension, du tampon et du type de film. Le fait que les reliefs, soumis à une pression locale plus élevée, s'usent plus vite explique aussi la capacité d'aplanissement du CMP.