CMP et nettoyage
Quelle méthode est utilisée pour détecter la fin de polissage en CMP ?
- APeser la plaquette après polissage
- BSurveiller pendant le polissage la variation du frottement (couple moteur, etc.) ou de la réflectance optique
- CVérifier visuellement la couleur de la suspension
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Réponse : B. Surveiller pendant le polissage la variation du frottement (couple moteur, etc.) ou de la réflectance optique
Lorsque le film poli disparaît et que la sous-couche apparaît, la différence de matériau modifie le frottement et la réflectance optique de la surface. L'équipement de CMP surveille en temps réel le couple (courant) du moteur entraînant le plateau ou le spectre de réflexion de la lumière envoyée sur la plaquette par une fenêtre du plateau pour détecter la fin de polissage. La méthode optique permet aussi d'estimer l'épaisseur restante, et des capteurs à courants de Foucault mesurent l'épaisseur des films métalliques.