CMP und Reinigung
Welche Größe ist laut der Preston-Gleichung für die CMP-Abtragsrate proportional zur Abtragsrate?
- ADie Farbe des Slurrys
- BDer Durchmesser des Wafers
- CDas Produkt aus Polierdruck und Relativgeschwindigkeit zwischen Pad und Wafer
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Antwort: C. Das Produkt aus Polierdruck und Relativgeschwindigkeit zwischen Pad und Wafer
Die Preston-Gleichung ist die empirische Beziehung „Abtragsrate = k × Druck × Relativgeschwindigkeit“, die 1927 für das Polieren von Glas aufgestellt wurde. Verdoppelt man Druck oder Drehzahl, verdoppelt sich auch die Abtragsrate annähernd, daher ist sie Grundlage der Prozessauslegung. Der Proportionalitätsfaktor k hängt von Slurry, Pad und Filmart ab. Dass erhabene Bereiche einen höheren lokalen Druck erfahren und schneller abgetragen werden, ist zugleich der Grund, warum CMP planarisieren kann.