Wie heißt das Konzept, nur den engen Raum um den Wafer auf hohe Reinheit zu halten?

Antwort: B. Minienvironment-Ansatz

Beim Minienvironment-Ansatz werden nur die Räume, die mit dem Wafer in Berührung kommen, etwa im FOUP und im Anlageninneren, extrem sauber gehalten; die Reinheit des Bereichs, in dem Personen arbeiten, wird etwas gelockert. Da das zu reinigende Volumen erheblich kleiner ist, lassen sich Baukosten und Betriebskosten der Klimatisierung gegenüber dem Ballroom-Ansatz, bei dem der gesamte Raum höchsten Reinheitsanforderungen genügt, senken. Da Personen und Wafer getrennt sind, wird auch die Kontamination durch Personen verringert.