Was ist Rückseitige Stromversorgung (Backside Power Delivery)?

Die Versorgungsleitungen werden auf der Waferrückseite angeordnet, sodass die Vorderseitenverdrahtung für Signale frei bleibt. Das verringert den Spannungsabfall und die Routing-Überlastung.

Japanische Bezeichnung: 裏面電源供給

Fachgebiet: Verdrahtungsprozesse

Verwandte Begriffe

Barrieremetall (Diffusionsbarriere) Black'sche Gleichung Damascene-Verfahren Dual-Damascene-Verfahren IR-Drop (Spannungsabfall) Keimschicht (Seed Layer) Low-k-Material Luftspalt (Air Gap) Mehrlagenverdrahtung MOL (Middle of Line)

Zurück zum Glossar