Prozessmaterialien (Gase, Chemikalien)

Welche Zusammensetzung hat der breit für g-Linien- und i-Linien-Belichtung verwendete Positivlack hauptsächlich?

  1. APolyethylen und Salz
  2. BMetallpulver und Wasser
  3. CNovolak-Harz und Photosensibilisator auf Diazonaphthochinon-(DNQ-)Basis
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Antwort: C. Novolak-Harz und Photosensibilisator auf Diazonaphthochinon-(DNQ-)Basis

Der Positivlack für g- und i-Linie besteht aus alkalilöslichem Novolak-Harz, dem ein Photosensibilisator auf Diazonaphthochinon-(DNQ-)Basis beigemischt ist, der die Lösung hemmt. Bei Lichteinfall zerfällt DNQ zu Carbonsäure, was umgekehrt die Löslichkeit in Alkali fördert, sodass sich die belichteten Bereiche beim Entwickeln lösen. Novolak absorbiert Licht kürzerer Wellenlänge als KrF stark, weshalb er bei KrF und ArF durch chemisch verstärkte Lacke ersetzt wurde.

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