Prozessmaterialien (Gase, Chemikalien)

Welches Gerät misst in Abscheide- und Ätzanlagen den Gasdurchfluss genau und regelt ihn konstant?

  1. AMassendurchflussregler (MFC)
  2. BNur ein Manometer
  3. CVentil der Gasflasche
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Antwort: A. Massendurchflussregler (MFC)

Ein Massendurchflussregler misst den Massenstrom des Gases mit einem Sensor und hält ihn durch Einstellen eines eingebauten Ventils auf dem Sollwert. Beim typischen thermischen Typ wird der Durchfluss aus dem Unterschied der von dem durch ein Kapillarrohr strömenden Gas transportierten Wärmemenge bestimmt. Als Durchflusseinheit wird häufig sccm (cm³ pro Minute unter Standardbedingungen) verwendet. Da Abscheiderate, Filmzusammensetzung und Ätzselektivität stark vom Durchfluss abhängen, ist in jeder Gasleitung ein MFC angeordnet.

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