공정 재료(가스와 케미칼)
g선·i선 노광에 널리 쓰여 온 포지티브형 레지스트의 주된 구성으로 올바른 것은 무엇입니까?
- A폴리에틸렌과 소금
- B금속 분말과 물
- C노볼락 수지와 디아조나프토퀴논(DNQ)계 감광제
정답과 해설 보기
정답: C. 노볼락 수지와 디아조나프토퀴논(DNQ)계 감광제
g선·i선용 포지티브형 레지스트는 알칼리에 녹는 노볼락 수지에, 용해를 방해하는 디아조나프토퀴논(DNQ)계 감광제를 섞은 것입니다. 빛이 닿으면 DNQ가 분해되어 카르복시산으로 바뀌어 오히려 알칼리 용해를 돕게 되므로, 노광된 부분이 현상에서 녹습니다. 노볼락은 KrF보다 짧은 파장의 빛을 강하게 흡수하기 때문에, KrF와 ArF에서는 화학 증폭형 레지스트로 대체되었습니다.
- A. 폴리에틸렌과 소금이 아닙니다.
- B. 금속 분말과 물이 아닙니다.
- C. 맞습니다. 노볼락 수지와 DNQ계 감광제입니다.