Welches ist das typische Verfahren, den in Halbleiterfabriken in großen Mengen verwendeten Stickstoff in Fabriknähe herzustellen?

Antwort: B. Luft abkühlen und verflüssigen und Stickstoff aufgrund des Siedepunktunterschieds abtrennen (Tieftemperaturzerlegung)

Große Stickstoffmengen werden durch Tieftemperaturzerlegung hergestellt, bei der Luft komprimiert, abgekühlt und verflüssigt und anhand des Siedepunktunterschieds (Stickstoff etwa −196 ℃, Sauerstoff etwa −183 ℃) getrennt wird. Da etwa 78 % der Luft Stickstoff sind, ist der Rohstoff unerschöpflich und hochreiner Stickstoff in großen Mengen zu gewinnen. Große Fabriken stellen Luftzerlegungsanlagen auf dem Gelände oder in der Nachbarschaft auf und versorgen per Leitung. Bei der Verbrennung von Erdöl entsteht kein hochreiner Stickstoff, bei der Elektrolyse von Wasser entstehen Wasserstoff und Sauerstoff.