Prozessmaterialien (Gase, Chemikalien)
Welche Aussage zu Chlortrifluorid (ClF3), das z. B. zur Reinigung von Anlagenkammern verwendet wird, ist korrekt?
- AEs ist inert und reagiert mit fast keinem Stoff
- BEs ist extrem reaktiv und reagiert heftig mit vielen Stoffen, sodass strenger Umgang erforderlich ist
- CEs ist unschädlich, und Lüftung ist nicht nötig
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Antwort: B. Es ist extrem reaktiv und reagiert heftig mit vielen Stoffen, sodass strenger Umgang erforderlich ist
ClF3 ist extrem reaktiv und kann viele Stoffe auch ohne Plasma ätzen, weshalb es zur Reinigung eingesetzt wird, um Ablagerungen in Kammern von Epitaxieanlagen u. Ä. an Ort und Stelle zu entfernen. Andererseits reagiert es heftig mit organischen Stoffen und vielen Metallen und kann Brände auslösen und ist auch stark giftig, sodass Materialauswahl und Leckschutz streng erfolgen. Es ist weder inert noch unschädlich; seine hohe Reaktivität ist zugleich der Grund für Anwendung und Gefahr.