Welche Aufgabe hat die dünne Membran (Pellicle), die mit einem bestimmten Abstand über der Fotomaske gespannt wird?

Antwort: C. Zu verhindern, dass Fremdkörper direkt an der Maskenfläche haften, und dafür zu sorgen, dass auf dem Pellicle haftende Fremdkörper nicht im Fokus liegen und kaum übertragen werden

Haftet ein Fremdkörper an der Maske, wird der Defekt in jedem Shot jedes mit dieser Maske belichteten Wafers übertragen. Das Pellicle ist eine transparente Membran von höchstens 1 µm Dicke, die in etwa 6 mm Abstand von der Maske auf einen Rahmen gespannt ist; Fremdkörper haften auf dem Pellicle, liegen nicht im Fokus, erscheinen unscharf und werden kaum auf den Wafer übertragen. Für EUV wurden hitzebeständige ultradünne Membranen von einigen zehn nm (Polysilizium, Kohlenstoff-Nanoröhren usw.) entwickelt, die etwa 90 % des EUV-Lichts durchlassen.