Schichtabscheidung (CVD, PVD)

Welche Aussage zum Vorteil des Vakuumaufdampfens mit Erhitzung des Materials durch einen Elektronenstrahl ist richtig?

  1. AAuch hochschmelzende Materialien lassen sich verdampfen
  2. BDie Kantenbedeckung ist sehr hoch
  3. CDie Schicht entsteht durch die chemische Reaktion von Prozessgasen
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Antwort: A. Auch hochschmelzende Materialien lassen sich verdampfen

Beim Elektronenstrahlverdampfen wird das Material durch einen auf einige kV beschleunigten, fokussierten Elektronenstrahl erhitzt; daher lassen sich auch Wolfram, Molybdän und Oxide verdampfen, die sich mit Widerstandsheizung schwer schmelzen lassen, und die Verunreinigung durch den Tiegel ist gering. Da die verdampften Atome geradlinig fliegen, ist die Kantenbedeckung gering; diese Eigenschaft wird beim Lift-off genutzt, bei dem auf Resist abgeschieden und dann das Resist samt unerwünschter Bereiche entfernt wird, um Elektroden zu bilden.

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