Reinraum und Fertigungsanlagen

Welche Aussage zu den Reinheitsklassen nach ISO 14644-1 ist richtig?

  1. AJe größer die Zahl, desto höher die Reinheit
  2. BSie wird nicht durch die Partikelzahl, sondern durch das Partikelgewicht bestimmt
  3. CMit jeder um eins kleineren Klassenzahl N sinkt die zulässige Partikelzahl auf etwa ein Zehntel
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Antwort: C. Mit jeder um eins kleineren Klassenzahl N sinkt die zulässige Partikelzahl auf etwa ein Zehntel

In ISO 14644-1 ist für die ISO-Klasse N die Obergrenze für Partikel ab 0,1 µm auf 10^N pro m³ festgelegt (die Obergrenzen für andere Partikelgrößen ergeben sich aus einer Formel). Klasse 5 erlaubt beispielsweise 100.000 und Klasse 4 10.000 Partikel; je kleiner die Zahl, desto höher die Reinheit. Maßgeblich ist die Anzahlkonzentration, nicht das Gewicht. In modernen Fabriken werden in den mit den Wafern in Berührung kommenden Räumen etwa Klasse 1 bis 3 verlangt.

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