Reinraum und Fertigungsanlagen

Welche Einrichtung der Reinraumklimatisierung entstaubt die angesaugte Außenluft, stellt Temperatur und Feuchtigkeit ein und führt sie der zirkulierenden Raumluft zu?

  1. ALoad Port
  2. BScrubber
  3. CAußenluftaufbereitungsgerät (Make-up Air Unit, MAU)
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Antwort: C. Außenluftaufbereitungsgerät (Make-up Air Unit, MAU)

Reinräume nehmen Außenluft auf, um den Überdruck aufrechtzuerhalten und Abluft zu ersetzen; Temperatur und Feuchtigkeit der Außenluft schwanken jedoch je nach Jahreszeit stark, und sie enthält Verunreinigungen. Üblich ist folgende Aufteilung: Das Außenluftaufbereitungsgerät entstaubt sie und hält Temperatur und Feuchtigkeit konstant, während im Raum die Umluft über FFUs gereinigt und die Temperatur fein geregelt wird. Da die Feuchteregelung im MAU gebündelt werden kann, wird die Regelung im Raum stabiler.

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