Reinraum und Fertigungsanlagen

Welcher Reinraumtyp hält die Reinheit aufrecht, indem saubere Luft aus Teilen der Decke ausgeblasen und mit der Raumluft vermischt und verdünnt wird? Seine Reinheit ist geringer als bei unidirektionaler Strömung, die Anlagenkosten sind aber niedriger.

  1. ANichtunidirektionale (turbulente) Strömung
  2. BDownflow (vertikale unidirektionale Strömung)
  3. CMinienvironment
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Antwort: A. Nichtunidirektionale (turbulente) Strömung

Beim Reinraum mit nichtunidirektionaler Strömung wird saubere Luft aus Auslässen in der Decke eingeblasen, mit der Raumluft vermischt und die Partikel dabei verdünnt, bevor sie abgesaugt werden. Der Luftbedarf ist gering, und Anlagen- und Betriebskosten sind niedrig; die erreichbare Reinheit ist jedoch geringer als bei unidirektionaler Strömung, sodass es für Bereiche etwa der ISO-Klassen 6 bis 8 eingesetzt wird. In Halbleiterfabriken kommt es im Backend, in Vorräumen und in Bereichen außerhalb des Minienvironments zum Einsatz.

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