Reinraum und Fertigungsanlagen
Was ist der Hauptgrund dafür, Wafer nicht mit bloßen Händen anzufassen?
- AWeil Natrium u. a. aus Hautfett und Schweiß den Wafer verunreinigt und Bauelementeigenschaften und Zuverlässigkeit beeinträchtigt
- BWeil der Wafer durch die Körperwärme schmilzt
- CWeil Fingerabdrücke die Kristallorientierung des Wafers verändern
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Antwort: A. Weil Natrium u. a. aus Hautfett und Schweiß den Wafer verunreinigt und Bauelementeigenschaften und Zuverlässigkeit beeinträchtigt
Hautfett und Schweiß der Hände enthalten organische Stoffe und Alkalimetalle wie Natrium. Natrium wird als beweglicher Ionen im Oxidfilm die Schwellenspannung von Transistoren verschieben, und organische Stoffe führen zu Fehlern bei Schichtabscheidung und Verbindung. Deshalb werden Wafer mit speziellen Handschuhen, Pinzetten oder Transportrobotern gehandhabt. Auch mit Handschuhen wird die Waferoberfläche nicht berührt, sondern nur der Rand.