Reinraum und Fertigungsanlagen

Welcher Filter wird verwendet, um molekulare Kontamination (AMC) wie Ammoniak und organische Stoffe aus der Reinraumluft zu entfernen?

  1. AULPA-Filter
  2. BChemischer Filter (Filter mit Aktivkohle oder Ionenaustauscher)
  3. CMetallgewebe-Vorfilter
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Antwort: B. Chemischer Filter (Filter mit Aktivkohle oder Ionenaustauscher)

ULPA- und HEPA-Filter scheiden Partikel ab, gasförmige Moleküle passieren sie jedoch. Chemische Filter verwenden Aktivkohle, mit säure- oder alkalireaktiven Mitteln imprägnierte Filtermedien oder Ionenaustauscherharze, um Moleküle zu adsorbieren bzw. durch Reaktion zu entfernen. Der Typ wird nach dem zu entfernenden Stoff gewählt und wegen der begrenzten Adsorptionskapazität regelmäßig gewechselt. Eingesetzt werden sie an Außenlufteinlässen und bei wichtigen Anlagen wie Belichtungsgeräten.

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