Reinraum und Fertigungsanlagen

Welche Kombination bezeichnet beim automatischen Transport in einer Bay-Fabrik den Transport zwischen Bays und den Transport zwischen Anlagen innerhalb einer Bay?

  1. AFrontend-Transport und Backend-Transport
  2. BInterbay-Transport und Intrabay-Transport
  3. CNasstransport und Trockentransport
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Antwort: B. Interbay-Transport und Intrabay-Transport

In Bay-Fabriken wurden der Interbay-Transport, der entfernte Bays z. B. über Stocker verbindet, und der Intrabay-Transport, der innerhalb der Bay Anlagen untereinander sowie Anlagen und Stocker verbindet, kombiniert. Da bei jedem Umsetzen Wartezeiten entstehen, wird in neueren 300-mm-Fabriken auch häufig ein Verfahren verwendet, bei dem das OHT beides übernimmt und direkt von Anlage zu Anlage transportiert. Das hat nichts mit der Unterteilung in Front-End und Back-End zu tun.

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