良率與品質管理 在晶圓上的缺陷中，真正會造成晶片電性不良的缺陷稱為什麼？ A致命缺陷 B偽缺陷 C擾動缺陷（Nuisance defect） 查看答案與解析 正確答案：A. 致命缺陷 檢測發現的缺陷並非全都會導致不良。像是跨越配線之間位置的大型異物這種會造成電性不良的缺陷，稱為致命缺陷（killer defect）。可依缺陷的大小、位置與層別估算致命率（不良的比例），預測其對良率的影響。不會造成不良的缺陷，或是檢測設備誤判的偽缺陷，則稱為擾動缺陷。