什麼是FeFET(鐵電電晶體)

正確答案：A. 氧化鉿（HfO2）系

氧化鉿一直是 CMOS 中用作 High-k 閘極絕緣膜的材料，2011 年前後有報告指出，添加 Si 或 Zr 而成為特定的結晶相（斜方晶）後，即使厚度只有 10 nm 左右也顯現鐵電性。以往的 PZT 含鉛，變薄後特性下降，難以與 CMOS 整合；相對地，HfO2 系可以用 ALD 沉積出薄而均勻的膜，有望將 FeRAM 與 FeFET 嵌入微細的邏輯電路。

正確答案：A. 臨界電壓隨極化方向而改變，以 1 個電晶體即可非揮發性地記憶，且能非破壞性地讀取

FeFET 中，隨著閘極絕緣膜鐵電體極化的方向不同，通道中被感應的電荷會改變，使臨界電壓偏移。一個電晶體即可記憶（1T），並且以是否有電流流過來讀取，因此不使極化反轉的非破壞性讀取是可能的。寫入只需閘極電壓，功耗也小。因 HfO2 系鐵電體的發現而再度受到矚目，改寫耐久性的提升是課題。