수율과 품질 관리
웨이퍼 위의 결함 중 실제로 칩의 전기적 불량을 일으키는 것을 무엇이라고 합니까?
- A킬러 결함
- B의사 결함
- C뉴선스(nuisance) 결함
정답과 해설 보기
정답: A. 킬러 결함
검사에서 발견된 결함이 모두 불량으로 이어지는 것은 아닙니다. 배선 사이에 걸치는 위치에 있는 큰 이물처럼 전기적 불량을 일으키는 결함을 킬러 결함(killer defect)이라고 합니다. 결함의 크기, 위치, 층으로부터 킬 레시오(불량이 되는 비율)를 추정하여 수율에 미치는 영향을 예측합니다. 불량을 일으키지 않는 결함이나 검사 장비가 잘못 잡아내는 의사 결함은 뉴선스 결함이라고 합니다.