良率與品質管理
在帕松模型 Y = exp(−D × A) 中，當缺陷密度D = 0.1個/cm²、晶片面積A = 1 cm²時，良率約為多少？
- A約50%
- B約90%
- C約99%
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正確答案：B. 約90%
D × A = 0.1 × 1 = 0.1，所以Y = exp(−0.1) ≈ 0.905，亦即約90%。當D×A很小時，可近似為Y≈1−D×A，缺陷的平均個數就直接等於不良的比例。在相同缺陷密度下，若晶片面積變為5 cm²，則會降到exp(−0.5) ≈ 61%。約50%是D×A≈0.7時的值，約99%則是D×A≈0.01時的值。