良率與品質管理

分析將晶圓測試結果依晶片在晶圓上的位置顯示良否的晶圓圖(wafer map),其主要目的為下列何者?

  1. A決定晶片的售價
  2. B從不良的分布圖案推測造成不良的製程或設備
  3. C決定切割的順序
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正確答案:B. 從不良的分布圖案推測造成不良的製程或設備

分布圖案會依原因而有特徵:若不良晶片集中在晶圓外圍,就是沉積或蝕刻的面內均勻性問題;若在相同位置重複出現,就是光罩的缺陷;若呈條紋狀排列,則是刮傷或搬運的問題。分析晶圓圖,並將多片晶圓疊合後,即可推測有問題的製程或設備。它並不是用來決定價格或切割順序的。

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