歩留まり・品質管理
ウエハテストの結果を、ウエハ上のチップの位置ごとに良否で表示したウエハマップを分析する主な目的はどれか。
- Aチップの販売価格を決める
- B不良の分布パターンから、原因となった工程や装置を推定する
- Cダイシングの順番を決める
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正解:B. 不良の分布パターンから、原因となった工程や装置を推定する
不良チップがウエハの外周に集中している、特定の位置に繰り返し現れる、筋状に並んでいるなど、分布のパターンは原因によって特徴があります。ウエハマップを分析することで、問題のある工程や装置を推定し、対策につなげられます。