良率與品質管理

在其他條件相同時,若將晶圓直徑由200 mm改為300 mm,晶圓的面積約為幾倍?

  1. A約2.25倍
  2. B1.5倍
  3. C3倍
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正確答案:A. 約2.25倍

面積與直徑的平方成正比,所以(300 / 200)² = 1.5² = 2.25倍。1.5倍是直接使用直徑比的錯誤,3倍則過大。實際上,由於外圍因缺角而無法使用的晶片比例減少,所以可切出的晶片數會多於2.25倍。此外,每台設備的處理面積也增加,使每顆晶片的成本下降。這就是大口徑化持續推進的原因。

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