수율과 품질 관리

웨이퍼 테스트 결과를 웨이퍼 위 칩의 위치별로 양·불량으로 표시한 웨이퍼 맵을 분석하는 주된 목적은 무엇입니까?

  1. A칩의 판매 가격을 정한다
  2. B불량 분포 패턴으로부터 원인이 된 공정이나 장비를 추정한다
  3. C다이싱 순서를 정한다
정답과 해설 보기

정답: B. 불량 분포 패턴으로부터 원인이 된 공정이나 장비를 추정한다

불량 칩이 웨이퍼 외곽에 집중되어 있으면 성막이나 식각의 면내 균일성, 같은 위치에 반복해서 나타나면 레티클 결함, 줄무늬 모양으로 늘어서 있으면 스크래치나 반송 문제 등, 분포 패턴은 원인에 따라 특징이 있습니다. 웨이퍼 맵을 분석하고 다수의 웨이퍼를 겹쳐 보면 문제가 있는 공정이나 장비를 추정할 수 있습니다. 가격이나 다이싱 순서를 정하기 위한 것이 아닙니다.

이 분야 연습하기 분야로 돌아가기

수율과 품질 관리의 다른 문제

  1. 다른 조건이 같을 때 웨이퍼 직경을 200 mm에서 300 mm로 키우면 웨이퍼 면적은 약 몇 배가 됩니까?
  2. 관리도에서 모든 점이 관리 한계 안에 있더라도 이상으로 판단해야 하는 예는 무엇입니까?
  3. 포아송 모델 Y = exp(−D × A)에서 결함 밀도 D = 0.1개/cm², 칩 면적 A = 1 cm²일 때 수율은 대략 얼마입니까?
  4. 웨이퍼 위의 결함 중 실제로 칩의 전기적 불량을 일으키는 것을 무엇이라고 합니까?
  5. 데이터를 몇 개의 구간으로 나누어 도수를 막대그래프로 나타내고, 산포의 분포 모양을 보기 위한 그림은 무엇입니까?