測試與檢查
設置於晶圓上晶片之間（切割道，scribe line）等處，用來量測電晶體或電阻等的特性以評估製程的專用圖樣，稱為什麼？
- A虛設閘極（dummy gate）
- B對準標記
- CTEG（測試元件群）
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正確答案：C. TEG（測試元件群）
TEG是為了評估製程成果，由電晶體、電阻、電容、配線鏈等簡單結構所組成的集合。由於產品電路複雜，無法直接量測個別元件的特性，因此以TEG量測具代表性元件的特性。設置在切割道的TEG會在切割時被切除，所以不需占用產品的面積。在開發階段也會製作專用的TEG晶圓。
- A. 虛設閘極是為了加工均勻性等目的而設置、沒有功能的閘極。
- B. 對準標記是曝光時用於位置對準的記號。
- C. 正確。是用於製程評估的測試圖樣。