製程材料（氣體與藥液）
常用來表示高純度氣體中微量水分含量的指標為下列何者？
- ApH
- B比重
- C露點（水分開始凝結的溫度）
查看答案與解析
正確答案：C. 露點（水分開始凝結的溫度）
氣體中的水分，常以冷卻時水分開始凝結的溫度（露點）來表示。露點越低，水分越少，−80 ℃約相當於0.5 ppm，−100 ℃約相當於14 ppb。水分會造成管線腐蝕與薄膜品質下降，因此要以純化器抑制在ppb等級以下。pH是液體酸鹼性的指標，比重是密度之比，都不是水分含量的指標。
- A. pH是液體酸鹼性的指標。
- B. 比重是密度之比，不是水分含量的指標。
- C. 正確。以露點表示水分的量。