공정 재료(가스와 케미칼)

SiGe의 에피택셜 성장에서 게르마늄의 원료로 쓰이는 가스는 무엇입니까?

  1. A암모니아(NH3)
  2. B게르만(GeH4)
  3. C아르신(AsH3)
정답과 해설 보기

정답: B. 게르만(GeH4)

SiGe 성장에서는 실리콘 원료(실란이나 디클로로실란 등)와 함께 게르마늄 원료로 게르만(GeH4)을 흘리고, 유량 비로 Ge 조성을 제어합니다. pMOS의 소스·드레인에서는 디보레인도 동시에 흘려 붕소를 고농도로 포함한 SiGe를 성장시켜 채널에 압축 변형을 줍니다. 암모니아는 질소, 아르신은 비소의 원료입니다.

  • A. 암모니아는 질소의 원료이며 질화막 등에 씁니다.
  • B. 맞습니다. 게르만이 게르마늄의 원료입니다.
  • C. 아르신은 비소의 원료이며 n형 도펀트 등에 씁니다.
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