製程材料(氣體與藥液)
在工廠附近製造半導體廠大量使用的氮氣,其代表性方法為下列何者?
- A燃燒石油
- B將空氣冷卻、液化,利用沸點的差異分離出氮(深冷分離)
- C電解水
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正確答案:B. 將空氣冷卻、液化,利用沸點的差異分離出氮(深冷分離)
大量的氮氣是以深冷分離法製造,也就是將空氣壓縮、冷卻使其液化,利用沸點的差異(氮約−196 ℃,氧約−183 ℃)加以分離。空氣的約78%是氮,因此原料取之不盡,可大量取得高純度的氮。大型工廠會在廠區內或鄰近用地設置空氣分離裝置,並以管線供應。燃燒石油無法得到高純度的氮,電解水則會產生氫與氧。
- A. 燃燒石油無法得到高純度的氮。
- B. 正確。將空氣液化後利用沸點差異分離。
- C. 電解水會產生氫與氧。