在氯化氫等鹵素系氣體的管線中，特別嚴格管理氣體中水分的理由，下列何者正確？

正確答案：B. 因為有水分時會變成如同鹽酸般的腐蝕性液體，腐蝕不鏽鋼管線而造成金屬汙染

乾燥的氯化氫幾乎不會腐蝕不鏽鋼，但一旦加入水分，就會像鹽酸一樣具有強烈的腐蝕性。管線內面腐蝕後，鐵、鉻、鎳等金屬會混入氣體而汙染晶圓，腐蝕生成物也會成為微粒。因此鹵素系氣體的管線在使用前要充分乾燥，並將水分抑制在ppb等級。問題不在於重量或顏色的變化。

• A. 問題不在於重量改變。
• B. 正確。有水分時腐蝕性增強，會造成金屬汙染。
• C. 問題不在於顏色改變。