MOSFET

關於MOSFET的衝穿(punch-through)的說明,下列何者正確?

  1. A通道的遷移率因溫度而下降
  2. B源極與汲極的空乏層相連,流過無法由閘極控制的電流
  3. C閘極絕緣膜發生絕緣崩潰
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正確答案:B. 源極與汲極的空乏層相連,流過無法由閘極控制的電流

當通道短而基板濃度低時,汲極側的空乏層會因汲極電壓而與源極側的空乏層相連,電流與閘極無關地流過基板深處,導致無法關閉。這就是衝穿。對策包括在源極、汲極下方加入高濃度層(暈環/口袋佈植)、使接面變淺,以及像FinFET或GAA那樣以閘極包圍通道,消除無法控制的電流路徑。

  • A. 遷移率的溫度變化不是衝穿。
  • B. 正確。空乏層相連,流過無法控制的電流。
  • C. 絕緣膜的破壞是閘極絕緣崩潰,與衝穿是不同的現象。
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