MOSFET
對MOSFET的閘極-源極間施加遠超過額定的電壓時,可能發生下列何種損壞?
- A閘極絕緣膜的絕緣崩潰
- B電致遷移
- C軟錯誤
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正確答案:A. 閘極絕緣膜的絕緣崩潰
先進產品的閘極絕緣膜厚度僅數nm,非常薄,SiO2的絕緣崩潰電場約為10 MV/cm,因此2 nm的話計算上數V就會損壞。一旦損壞,閘極與通道之間會短路,電晶體便無法使用。靜電(數kV)也很容易造成,因此IC的輸入輸出會加入ESD保護電路,功率MOSFET的閘極耐壓也約為±20 V。即使在額定內,長時間施加電壓而劣化的TDDB也是可靠度上的課題。