MOSFET

MOSFET의 게이트-소스 간에 정격을 크게 초과하는 전압을 가했을 때 일어날 수 있는 파괴는 무엇인가?

  1. A게이트 절연막의 절연 파괴
  2. B일렉트로마이그레이션
  3. C소프트 에러
정답과 해설 보기

정답: A. 게이트 절연막의 절연 파괴

게이트 절연막은 첨단 제품에서 두께가 수 nm로 매우 얇고, 절연 파괴 전계는 SiO2에서 약 10 MV/cm이므로 2 nm라면 수 V에서 파괴되는 계산이 됩니다. 파괴되면 게이트와 채널 사이가 단락되어 트랜지스터를 사용할 수 없게 됩니다. 정전기(수 kV)로도 쉽게 일어나므로 IC의 입출력에는 ESD 보호 회로가 들어가며, 파워 MOSFET도 게이트 내압은 ±20 V 정도입니다. 정격 내에서도 장시간의 전압으로 열화하는 TDDB 역시 신뢰성 과제입니다.

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