MEMS와 센서

정전용량식 MEMS 가속도 센서가 가속도를 검출하는 원리로 올바른 것은?

  1. A온도 변화에 따른 저항값의 변화
  2. B가동부(추)의 변위에 따른 전극 간 정전용량의 변화
  3. C빛 간섭무늬의 변화
정답과 해설 보기

정답: B. 가동부(추)의 변위에 따른 전극 간 정전용량의 변화

가속도가 가해지면 스프링으로 지지된 추가 관성으로 움직여 빗살 모양의 고정 전극과의 거리가 변합니다. 이 정전용량의 변화를 회로로 검출하여 가속도를 구합니다. 변위는 수 nm 이하, 용량 변화는 fF(10⁻¹⁵ F) 이하로 매우 작지만, 차동 전극 구성과 고감도 회로로 읽어냅니다. 구조가 간단하고 소비 전력이 작으며 온도의 영향도 잘 받지 않아 스마트폰 등에 널리 사용됩니다.

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