以相同的加速能量佈植到矽中時，砷（質量數75）與磷（質量數31）的射程關係，下列何者正確？

正確答案：C. 較重的砷停留得較淺

在相同能量下，越重的離子每次碰撞損失的能量越大，速度也較慢，因此會在較淺的位置停止。例如在50 keV時，磷（質量31）的Rp約為60 nm，而砷（質量75）約為30 nm。砷的射程短、分布陡峭，擴散也慢，因此適合nMOS的淺源極、汲極。磷則用於深井區，或不使用高能量而想要較深的層。

• A. 較重的砷停留得較淺。
• B. 質量不同，所以射程也不同。
• C. 正確。越重的離子停留得越淺。