DRAM

近來DRAM的單元電晶體採用將閘極電極埋入矽基板溝槽中的結構(埋入式字元線),其主要目的是下列何者?

  1. A為了讓單元發光
  2. B為了拉長有效通道長度以抑制漏電流,同時縮小單元
  3. C為了不再需要電容
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正確答案:B. 為了拉長有效通道長度以抑制漏電流,同時縮小單元

DRAM的單元電晶體需要極小的漏電流(fA等級),才能將電容的電荷保持64 ms以上。將閘極埋入溝槽後,即使平面上的尺寸很小,通道也會沿著溝槽變長,能抑制短通道效應造成的漏電。埋入式字元線(BCAT)自2010年前後成為主流,還有可降低字元線與上方佈線之間電容的優點。

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