化合物半導體

下列何者是GaN HEMT使用SiC作為基板的主要理由之一?

  1. A因為比矽便宜
  2. B因為不透光
  3. C因為熱導率高,容易將元件的熱散去
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正確答案:C. 因為熱導率高,容易將元件的熱散去

高功率的GaN HEMT熱會集中在閘極附近,溫度上升時性能與壽命會下降。SiC的熱導率約為400 W/(m·K),比Si(約150)與藍寶石(約35)高,且與GaN的晶格失配約3.5%也相對較小,因此用於基地台與雷達用的高頻、高功率GaN HEMT的基板(GaN-on-SiC)。重視成本的功率用途則使用Si基板。

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