在SC-1（氨水與雙氧水的混合液）中，雙氧水所扮演的角色下列何者正確？

正確答案：C. 氧化矽的表面並以薄氧化膜覆蓋，在抑制氨水直接使矽粗糙化的同時，持續對表面進行輕微的蝕刻

在SC-1中，雙氧水氧化矽表面而形成厚度約1 nm的薄氧化膜，氨水則緩慢溶解該氧化膜。氧化與蝕刻同時進行，使表面被一點一點地削除，微粒便從下方被托起而去除。若雙氧水太少，氨水會直接蝕刻矽而使表面粗糙，因此兩者的比例與溫度需最佳化，近年也以稀釋來抑制粗糙。

• A. SC-1是用來去除微粒的液體。
• B. 形成氫終端是以稀釋氫氟酸處理時的情況。
• C. 正確。氧化表面加以保護，同時持續進行輕微的蝕刻。