SC-1(암모니아·과산화수소수 혼합액)에서 과산화수소가 수행하는 역할로 올바른 것은?

정답: C. 실리콘 표면을 산화하여 얇은 산화막으로 덮어 암모니아에 의한 실리콘의 직접적인 표면 거칠어짐을 억제하면서, 표면을 미세하게 계속 식각한다

SC-1에서는 과산화수소가 실리콘 표면을 산화하여 두께 약 1 nm의 얇은 산화막을 만들고, 암모니아가 그 산화막을 천천히 녹입니다. 산화와 식각이 동시에 진행되면서 표면이 조금씩 깎여 파티클이 아래에서 들어 올려져 제거됩니다. 과산화수소가 적으면 암모니아가 실리콘을 직접 식각하여 표면이 거칠어지므로, 두 성분의 비율과 온도를 최적화하며 최근에는 희석하여 거칠어짐을 억제합니다.

• A. 파티클을 제거하기 위한 용액입니다.
• B. 수소 종단이 되는 것은 희석 불산으로 처리했을 때입니다.
• C. 올바릅니다. 표면을 산화시켜 보호하면서 미세한 식각을 계속합니다.