클린룸과 장비
반도체 공장 클린룸 바닥에 사용되는, 격자 모양으로 구멍이 뚫린 두꺼운 콘크리트 바닥(와플 슬래브)의 역할로 올바른 것은 무엇인가?
- A높은 강성으로 진동을 억제하면서 구멍을 통해 공기를 바닥 아래로 흘려보낸다
- B빗물을 모은다
- C바닥을 가볍게 하여 건설비를 낮춘다
정답과 해설 보기
정답: A. 높은 강성으로 진동을 억제하면서 구멍을 통해 공기를 바닥 아래로 흘려보낸다
와플 슬래브는 격자 모양의 보로 보강된 두꺼운 콘크리트 바닥에 다수의 구멍을 뚫은 것으로, 다운플로 공기를 바닥 아래로 통과시키는 통로가 됩니다. 동시에 높은 강성으로 노광 장비 등 정밀 장비에 해로운 진동을 억제합니다. 이름은 구멍이 늘어선 모양이 와플을 닮은 데서 유래합니다. 구멍 위에는 그레이팅 패널을 놓아 걸어 다닐 수 있게 합니다. 경량화와는 반대로 무겁고 강성이 높은 구조입니다.
- A. 맞습니다. 강성과 공기 통로를 양립시킵니다.
- B. 빗물을 모으는 설비가 아닙니다.
- C. 진동을 억제하기 위해 무겁고 강성이 높은 구조입니다.