粒子の大きさと配線の配置から、その粒子が落ちると不良を引き起こしうる領域の面積を表す考え方はどれか。

正解：C. クリティカルエリア

クリティカルエリアは、ある大きさの粒子が落ちたときに配線のショートや断線を起こす位置の面積です。配線が密集しているほど、粒子が大きいほど大きくなります。クリティカルエリアと欠陥密度から、歩留まりを予測したり、レイアウトを改善したりします。