歩留まり・品質管理

異常が見つかったときに影響を受けた可能性のある製品を特定するために必要な、製品ごとの製造履歴を追跡できる仕組みを何と呼ぶか。

  1. Aビニング
  2. Bガードバンド
  3. Cトレーサビリティ
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正解:C. トレーサビリティ

トレーサビリティは、各製品がどのウエハ、どのロットから作られ、どの装置でどの条件で処理されたかを記録し、さかのぼって追跡できる仕組みです。装置の異常などが見つかったときに、影響を受けた製品の範囲を素早く特定し、出荷の停止や回収を最小限にできます。

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