수율과 품질 관리

입자의 크기와 배선 배치로부터, 그 입자가 떨어지면 불량을 일으킬 수 있는 영역의 면적을 나타내는 개념은 무엇입니까?

  1. A액티브 에어리어
  2. B다이 에어리어
  3. C크리티컬 에어리어
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정답: C. 크리티컬 에어리어

크리티컬 에어리어(critical area)는 어떤 크기의 입자가 떨어졌을 때 배선의 단락이나 단선을 일으키는 위치의 면적입니다. 배선 간격보다 작은 입자에서는 거의 0이고, 입자가 클수록, 배선이 밀집할수록 커집니다. 입자 크기 분포와 곱하여 평균을 내면 랜덤 결함에 의한 수율을 예측할 수 있고, 배선 간격을 넓히는 등 레이아웃 개선에도 활용할 수 있습니다.

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