良率與品質管理
根據微粒的大小與配線的佈置，表示該微粒落下後可能造成不良的區域面積的概念是下列何者？
- A主動區（Active area）
- B晶粒面積（Die area）
- C關鍵面積（Critical area）
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正確答案：C. 關鍵面積（Critical area）
關鍵面積是指某個大小的微粒落下時，會造成配線短路或斷線的位置的面積。對於小於配線間距的微粒，其值幾乎為0；微粒越大、配線越密集，其值就越大。若與微粒大小的分布相乘後取平均，即可預測隨機缺陷造成的良率，也可用於加寬配線間距等佈局的改善。