歩留まり・品質管理
工程ごとに欠陥検査を行い、前の工程から新たに増えた欠陥だけを抽出する目的として正しいものはどれか。
- Aどの工程(装置)で欠陥が発生したかを特定するため
- Bチップの価格を決めるため
- Cウエハの色をそろえるため
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正解：A. どの工程(装置)で欠陥が発生したかを特定するため
欠陥検査の結果を工程ごとに比べ、前の検査で見つかった欠陥を差し引くと、その間の工程で新たに発生した欠陥がわかります。これにより、欠陥を発生させている工程や装置を特定して、対策を打つことができます。