실리콘 웨이퍼
CZ 실리콘에 포함된 격자간 산소가 FZ 실리콘에 비해 웨이퍼의 기계적 강도에 미치는 영향으로 올바른 것은?
- A산소가 있으면 웨이퍼는 반드시 깨지기 쉬워진다
- B기계적 강도에는 영향이 없다
- C산소가 전위를 고착시켜 움직이기 어렵게 하므로 열처리 중 슬립에 강해진다
정답과 해설 보기
정답: C. 산소가 전위를 고착시켜 움직이기 어렵게 하므로 열처리 중 슬립에 강해진다
격자간 산소는 전위 주위에 모여 전위를 고착시키고 움직이기 어렵게 만듭니다. 그래서 산소를 포함한 CZ 웨이퍼는 산소가 적은 FZ 웨이퍼보다 열처리 중 슬립이나 휨에 강한 경향이 있습니다. 여러 번 고온 공정을 거치는 LSI에서는 중요한 성질이며, 대구경 LSI용으로 CZ 웨이퍼가 사용되는 이유 중 하나입니다. 한편 산소가 지나치게 석출되면 오히려 웨이퍼가 휘기 쉬워지기도 합니다.
- A. 격자간 산소는 오히려 강도를 높이는 방향으로 작용합니다.
- B. 기계적 강도에 영향을 줍니다.
- C. 옳습니다. 전위를 고착시켜 슬립이 일어나기 어렵게 합니다.