테스트와 검사
프로브 카드의 방식 중, 바늘을 패드에 대해 수직으로 세워 늘어놓는 수직형의 주된 장점은?
- A웨이퍼를 가열할 수 없다
- B다수 칩을 동시에 측정하는 다핀·좁은 피치화나, 에리어에 늘어선 패드에 대응하기 쉽다
- C바늘을 1개밖에 사용할 수 없다
정답과 해설 보기
정답: B. 다수 칩을 동시에 측정하는 다핀·좁은 피치화나, 에리어에 늘어선 패드에 대응하기 쉽다
종래의 캔틸레버형은 옆에서 뻗은 비스듬한 바늘로 패드에 닿기 때문에, 칩 주변에 늘어선 패드에 적합했습니다. 수직형이나 MEMS형 프로브는 바늘을 격자 모양으로 촘촘하게 늘어놓을 수 있어, 다핀이면서 패드가 칩 전면에 늘어선 품종이나 다수 칩의 동시 측정에 적합합니다. 바늘이 수직으로 움직이므로 바늘 자국도 작게 할 수 있습니다. 가열 가능 여부는 프로버의 척으로 정해집니다.
- A. 가열 가능 여부는 프로버의 척으로 정해집니다.
- B. 올바릅니다. 다핀·좁은 피치나 에리어 배치에 대응하기 쉬운 방식입니다.
- C. 수직형은 다수의 바늘을 늘어놓을 수 있습니다.