테스트와 검사
웨이퍼 위 칩 사이(스크라이브 라인) 등에 배치되어, 트랜지스터나 저항 등의 특성을 측정하여 공정을 평가하기 위한 전용 패턴을 무엇이라고 부릅니까?
- A더미 게이트
- B얼라인먼트 마크
- CTEG(테스트 엘리먼트 그룹)
정답과 해설 보기
정답: C. TEG(테스트 엘리먼트 그룹)
TEG는 트랜지스터, 저항, 용량, 배선 체인 등 공정의 완성도를 평가하기 위한 단순한 구조의 모음입니다. 제품 회로는 복잡하여 개별 소자의 특성을 직접 측정할 수 없으므로, TEG로 대표적인 소자의 특성을 측정합니다. 스크라이브 라인에 둔 TEG는 다이싱으로 잘려 나가기 때문에 제품 면적을 사용하지 않아도 됩니다. 개발 단계에서는 전용 TEG 웨이퍼도 만듭니다.
- A. 더미 게이트는 가공의 균일성 등을 위해 두는 기능 없는 게이트입니다.
- B. 얼라인먼트 마크는 노광의 위치 맞춤용 표식입니다.
- C. 올바릅니다. 공정 평가용 테스트 패턴입니다.