테스트와 검사

프로브 카드에 대한 설명으로 올바른 것은?

  1. A칩을 봉지하기 위한 금형
  2. B웨이퍼를 운반하기 위한 용기
  3. C웨이퍼 위 칩의 전극에 바늘을 접촉시켜 테스터와 전기적으로 연결하는 지그
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정답: C. 웨이퍼 위 칩의 전극에 바늘을 접촉시켜 테스터와 전기적으로 연결하는 지그

프로브 카드는 칩의 전극 패드 배치에 맞춰 다수의 바늘을 늘어놓은, 품종별 전용 지그입니다. 프로버가 카메라로 웨이퍼의 위치를 맞추고 척을 올려 바늘과 패드를 접촉시켜, 테스터와 칩을 전기적으로 연결합니다. 바늘의 방식에는 비스듬한 바늘의 캔틸레버형, 수직형, MEMS 기술로 만드는 형이 있습니다. 봉지용 금형이나 운반 용기와는 별개입니다.

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